集成电路（IC）芯片广泛应用于各种现代电子设备中，三维引脚外观是衡量芯片质量的一个重要指标之一，而IC引脚的平面度和正位度是影响线路板柱状质量的重要因素。如何在生成过程中检测IC引脚的三维尺寸、平面度和正位度，从而控制和提高产品的表面质量是电子行业一直关注的内容。

  针对IC引脚三维尺寸，电子引脚平面度正位度的检测，传统的方法是采用人工来进行，这种检测方式效率低下，借测结果容易受到人的主观因素影响，检测人员的劳动强度大，检测质量无法得到保证。

  为了适应企业现代化生产的需要，海科思化研发团队开发了一套基于机器视觉的平面度检测系统—激光平面度测量仪。此款设备采用三度空间灯管照明系统，在面对某些特殊被测量物时，可利用不同的光线效果以凸显被测物的特性以更精确的抓取尺寸并达到高重复精度的上光源精确测量功能。平面度测量仪具有高分辨率彩色CCD，高清晰度影像效果，高品质的画面。相较于之前的人工或半自动检测，平面度测量仪采用全伺服闭环控制，具有全自动测量功能，效率和精度都是传统测量方式所不能比的。在IC芯片三维引脚的外观尺寸检测，如：引脚栈高、引脚共勉度、引脚长度、引脚宽度、引脚间距、引脚跨距等以及引脚的平面度正位度测量中表现不俗。

  在控制系统中，首先根据IC生产线速度和期望目标，基于电机编码器反馈信息，启动机械传送装置水平方向运动控制器，实现粗控制；然后，在此基础之上，利用CCD 相机对IC的成像信息作为反馈信息，终实现精确控制。在精确测量时，为保证成像质量，通过伺服电机对相机高度的控制和图象处理软件对聚焦的信息反馈实现自动调节焦距的功能。

  基于机器视觉技术的引脚平面度测量仪，大大提高了工业检测及测量的实时性和准确性，生产效率和产品质量控制得到明显提升，其应用市场也将不断扩张。

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