测量晶圆平整度，高精度与快速两者兼具
晶圆是芯片光刻的基材，每一步的工序都会直接影响到芯片质量，半点差错都有可能导致全盘皆输。晶圆制备要经过衬底制备和外延工艺两大环节，其中的工艺标准都有所不同，在这里不进行阐述。在经过表面抛光后就需要进行平整度检测。因为晶圆经过抛光之后平整度精度达到了μm级而且精度要求非常之高，加上不能接触晶圆进行抛光工序之后的表面，不然晶圆表面被划伤质量等级就会下降，所以晶圆的平整度测量需要交给多激光平整度测量仪来进行。
.jpg)
海科思多激光平整度测量仪采用激光非接触式测量，保护晶圆表面免受损伤。多个激光头可实现对平面的多点扫描或线扫描，一次性数据采集后通过软件计算，实时给出晶圆的平整度误差测量判定，测量步骤简单测量结果明了。晶圆平整度测量仪操作方便简单，无需培训，无视操作人员的经验以及状态，长期测量稳定如一。
.png)
海科思有晶圆各项数据的测量方案可供选择，欢迎拨打海科思服务热线咨询：400-0528-668
此文关键字：翘曲度平面度测量仪 平面度测量仪 激光平面度测量仪 在线机器人视觉检测
同类文章排行
- 陶瓷蜂窝载体孔径测量，阵列功能一键完成多孔结构测量
- 瓶胚各外形项目测量，保障塑形良品率
- 金属工件表面瑕疵检测，一台设备自动完成
- 空调外壳三维测量扫描，快速辅助工业设计
- 手机玻璃厚度测量，提升屏下摄像头成像素质
- 电机传动轴平行度高精度测量，减少安全隐患
- 插片散热器平行度测量，摆脱因韧性出现的数据不准确|影像测量仪
- 汽车轮毂密封胶圈测量，柔性工件一机完成|自动影像测量仪
- 塑料件瑕疵自动检测设备，可配合流水线实现自动化生产
- 大型发电机组件扫描测量，三维建模方便快捷
最新资讯文章
- 如何进行氧化铝基板的厚度测量
- 测量双极板平面度平整度，多层双极板更贴合
- 密封圈直径等各项尺寸测量，一键高效高精度完成测量
- 法兰平面度测量，端面更贴合|平面度测量仪
- 测量折叠屏屏幕平面度，柔性材料同样适用
- 测量硅片表面平整度，快速测量且不留测量痕迹
- 手机外屏平面度测量，多激光提升高精度
- 检测电路板翘曲度平整度，保障贴片快速进行
- 滚针轴承滚子、轴承杯外形尺寸高精度测量
- 快速测量电路板涨缩，一次元秒速完成
您的浏览历史
