影像测量仪是近十年来发展为快速的几何光学测量仪器,它是一种基于光学投影原理,结合应用现代光电技术和计算机处理技术,完成对试件边缘轮廓进行瞄准来实现长度尺寸测量的二维平面坐标位置测量仪。应用于工厂现场测量的影像测量仪,通常其分辨力为0.001mm,测量不确定度一般为(3+L/200)μm左右,其中L为测量长度(mm),应用于精密计量、量值传递等高精度测量领域的影像测量仪,测量不确定度一般优于(1.0+L/300)μm。

在影像测量仪上的测量均是单轴或二维平面坐标的测量,测量时先对焦,后对准,再读数(计数),后计算处理。读数来自于标尺即光栅系统,对焦对准依靠显微镜光学系统,还有一个直接影响测量效果和精度的照明光源,因为,基于影像方法测量的仪器,如果被测件不能被有效正确的照明,则测量的结果显然要偏离其真实尺寸。除前述因素外,环境条件也是制约测量精度不可忽视的因素。基于上述分析,可以归纳出以下几个方面的误差来源:

1)光栅计数尺的误差;

2)工作台移动时存在的直线度、角摆带来的误差;

3)工作台两测量轴垂直度带了的误差;

4)显微镜光轴与工作台面不垂直带了的误差;

5)测量室温度带来的误差;

6)光源照明条件的变化带来的对焦和对准误差。

在这几种因素中,前四项误差,是硬件误差,在仪器制造过程中已经形成并固定下来,一般无法改变;温度影响带来的误差,通过控制测量室的温度和等温过程来减小其影响。

后一项则常被忽视,而在实际测量中,当光源照明条件改变时,直接影响被测工件的照明效果和影像质量,主要是因为影像测量仪的图像是通过CCD接收,尽管CCD具有自动调节增益的功能,但当亮度过大时即失去调节功能,导致被测工件影像在缩小,当亮度过低时,工件影像反而变大。

这种影响,对于测量具有重复图形结构之间的间距时,只要整个测量过程中照明条件保持不变,其影响可以忽略,因为每个重复图形结构都同时在变大或变小,间距的测量计算直接消除了影像变形的影响,如测量玻璃尺寸、网格板刻线间距;除了这种特殊情形外,如测量圆的直径、工件的长度和宽度,都将带来明显的误差。