液晶玻璃基板平行度及翘曲度的测量

   液晶玻璃基板是液晶平板显示器的重要组成部分，具有十分广阔的发展前景。目前液晶玻璃基板高端领域的国产化进行得如火如荼。

   TFT-LCD用玻璃基板与传统的平板玻璃有本质的区别，对产品质量有非常严格的要求，是资本、技术密集型产业。

   高性能显示器制造工艺包括多次精密光刻，要求基板外形尺寸加工精度达到0.1 mm误差。液晶显示对基板玻璃平整度的要求甚高。基板玻璃的平整度直接影响所显示图形的质量。

   基板玻璃平整度测量的参数包括：1.玻璃表面粗糙度；2.玻璃表面波纹度；3.玻璃表面翘曲度；4.玻璃表面平行度。

1.玻璃表面粗糙度：玻璃表面粗糙度是反映表面形态的一个重要参数。粗糙度将影响在基板玻璃上进行涂膜和光刻的质量，引起分子排列畸变，从而影响液晶显示的质量。

2.玻璃表面波纹度：表面波纹度是反映玻璃表面平整度的重要参数之一。较大的波纹度会造成光刻时底片与基板玻璃不能贴紧，形成虚光，使光刻分辨率下降，边缘不齐；在封装、灌注液晶后，会使液晶层厚度波动，引起显示不均匀，甚至出现彩色干涉条纹，影响图像质量。

3.液晶玻璃基板表面翘曲度的测量：由于基板玻璃与底片吸附不紧，使光刻图形边缘不齐，分辨率下降。过大的翘曲度不利于大面积封装。

4.液晶玻璃基板平行度、垂直度、直线度测量：液晶基板玻璃平行度的测量、垂直度测量、直线度的测量是衡量玻璃厚度均匀性的重要参数。基板玻璃厚度不均匀会造成制造液晶显示器的过程中加压不均匀，造成次品和废品。

    为了避免不良情况的发生，使用海科思液晶玻璃基板测量仪对以上参数进行测量监控是非常重要的。

    海科思大行程测量仪系列机器能满足以上测量需求。的三角横梁技术，保证机器佳的刚性质量比，精度更稳定；德国HEIDENHAIN工业级四轴CNC控制系统，全伺服闭环控制，全自动测量功能；空间面补偿，保证机器的高精度；的预载荷空气轴承，全气浮导轨技术的应用，同时采用研磨级丝杠传动，高速、无间隙、灵敏可靠、定位准确、运动精度高。