压电陶瓷元件平面度测量技术，海科思有好方法

文章出处：网责任编辑：作者：人气：-发表时间：2020-02-07 17:04:00

压电陶瓷元件应用场景非常广泛，涵括但不仅限于半导体技术、光电子、通信与集成光学、光学仪器设备、纳米技术、纳米制造与纳米自动化、航空航天、图像处理等，压电陶瓷元件可根据定制需求，做成不同的形状来满足定制规格。高规格的压电陶瓷元件各项外观尺寸精度要求都十分高，因为各项尺寸都会影响到压电陶瓷元件的灵敏性，压电陶瓷保证功能性其中一项指标就是灵敏性，所以不单单是各项外观尺寸精度要求高，而且还不能够损伤到压电陶瓷元件表面。压电陶瓷元件很多时候需要做成一片片的外观，这时候就需要测量它的平面度了，但是如果使用塞尺测量平面度必定会磨损压电陶瓷片的表面形貌，影响其灵敏度，而且塞尺的精度也会随着塞尺自身的磨损导致精度不足，但是现在海科思有更好的方法来测量压电陶瓷的平面度。

海科思的激光平面度测量仪采用非接触式测量，测量压电陶瓷片平面度精度高还不会破坏其表面形貌，保证了PCB屏蔽盖的完整性，不影响性能。激光平面度翘曲度测量仪可实现对平面的多点扫描或线扫描，一次性数据采集后通过软件计算，实时给出平面度平整度翘曲度误差测量判定，测量压电陶瓷片的平面度更加直观与简单。